拉普拉斯获得烘干设备和激光加工设备专利可以在运送硅片的一起烘干硅片

产品简介

  金融界2024年10月25日音讯，国家知识产权局信息数据显现，拉普拉斯（无锡）半导体科技有限公司获得一项名为“烘干设备和激光加工设备”的专利，授权公告号CN 221859144 U，请求日期为2024年3月。

  专利摘要显现，本请求供给了一种烘干设备和激光加工设备。 烘干设备用于烘干硅片。烘干设备包含移交组件、加热组件和隔热组件。移交组件包含榜首移交件和第二移交件。榜首移交件和第二移交件均被装备为沿榜首方向移交硅片。第二移交件和榜首移交件沿第二方向距离设置。榜首方向和第二方向彼此笔直。加热组件设于榜首移交件和第二移交件之间。隔热组件包含榜首隔热件和第二隔热件。榜首隔热件设于加热组件与榜首移交件之间。第二隔热件设于加热组件与第二移交件之间。本请求供给的一种烘干设备，可以在运送硅片的一起烘干硅片。

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